“林總，我想向您再三強調，佳能的nil技術擁有極大缺陷，它絕對不像佳能所宣傳的那樣友好！
它存在著至關重要，幾乎，在我看來無法解決的缺陷！”
申海交通大學，前沿技術中心，此次帶隊前往霓虹栃木縣的宇都宮市，負責從佳能光學技術研究所全套接收nil技術的陳磊博士說道。
陳磊博士，是華國頂尖凝聚態物理領域的專家，此前在阿美莉卡的德克薩斯州電子研究所工作，是華國花費大力氣才引進回國的人才。
也是在座眾人中，唯一和佳能的nil光刻機實際接觸過的華國工程師。
佳能在2023年10月正式宣布推出其首款用于商業化生產的nil設備fpa-1200nz2c，并成功交付給鎧俠、sk海力士等存儲大廠以及阿美莉卡的研發機構。
讓設備可以在客戶的工廠里進行驗證、測試和工藝磨合。
其中阿美莉卡負責接收nil設備的就是德克薩斯電子研究所，它也是阿美莉卡半導體研發聯盟的核心成員之一。
而德克薩斯電子研究所拿到這臺設備，不是用于生產，而是用于先進半導體的研發和原型制作。
林燃點了點頭，示意陳磊繼續說下去。
這還是這位nil領域唯一的華國工程師回國后，他第一次見到對方。
畢竟林燃太忙，才回申海，陳磊也才回國。
陳磊深吸一口氣，點了點頭。
他摘下眼鏡，用絨布仔細地擦了擦，這個習慣性的動作讓他紛亂的思緒重新變得清晰有序。
“好的，林總。”他重新戴上眼鏡，目光掃過在場的每一個人。
“首先，我要承認，佳能的宣傳并非謊言。
在理想條件下，n-il確實能做到他們所說的一切。
我甚至親眼見過，在他們的實驗室里，用nil技術壓印出的單層晶圓樣品，其精度和良率都達到了驚人的水準。
但這就像是概念跑車，在專業賽道上能跑出破紀錄的速度，可一旦把它開到城市擁堵的街道上，它可能連一輛普通的家用車都不如。
它的缺陷，不是出在上限，而是出在下限，出在從實驗室走向大規模量產的每一個不起眼的環節里。
我把它總結為以下幾點，首先是我認為最要命的，我稱之為缺陷瀑布。”
這個詞一出口，就引起了一陣小小的騷動。
中芯國際的代表梁孟松顯然對缺陷這個詞很敏感，他馬上皺起了眉頭。
陳磊伸出一根手指，語氣變得無比嚴肅：“傳統的光刻，無論是duv還是euv，都是非接觸式的。
這點在座各位我相信都非常清楚。
光穿過掩膜版，投射在晶圓上。
即使掩膜版上有一個塵埃，經過光學系統的縮小，對單個芯片的影響也相對可控。
但nil是接觸式的，是物理壓印！
這意味著，只要有一個納米級的顆粒掉在模板上，或者在壓印過程中產生，會發生什么？”
他停頓下來，讓所有人有時間能思考這個問題。
“結果就是，這個缺陷會被模板像圖章一樣，蓋在它接觸的每一個芯片單元上。
更可怕的是，這個顆粒可能會污染模板，讓模板本身成為一個污染源，在后續的每一片晶圓上，不斷地、重復地復制這個缺陷。
這不是一個點的問題，而是一條線的、一個面的災難。
我們稱之為defectpropagation，缺陷傳播。
在德州電子研究所，我們曾經有一個項目，就是因為一次微小的污染，導致連續報廢了13片晶圓，直接損失超過80萬美元。