三氯氫硅和四氯化硅氫還原反應都是吸熱反應,因此升高溫度使平衡向吸熱一方移動,有利于硅的沉積,也會使硅的結晶性能更好。
但實際生產中反應溫度也不能太高,這是因為硅和其它半導體材料的固相沉積一樣,存在一個最佳溫度。
一旦超過這個溫度,隨著溫度的升高,沉積速度反而下降同時,雜質b、p化合物,隨著溫度的增高,其還原量也將加大,這將降低多晶硅的質量。
產量、良品率20年內最優解的溫度,其實是1137°。
而且他還知道為什么張惠國和漢斯貓的工藝是控制在1100°。
他畢竟是個重生者,心里面其實透亮的。
之所以還原爐的遮熱罩材料是石英玻璃,是因為老外試驗出來的多晶硅還原爐的工作理想溫度范圍在1100°c左右。
而隨著工藝的提升和純度的要求,這個最優溫度是在慢慢向上走的。
在改良西門子法第一代當時的工藝條件下,也就是上世紀60年代左右的時候,1100°高溫下硅和氯化氫的反應生成多晶硅的速率較高。
而當初可用的材料里,石英玻璃剛好能夠達到這個參數要求,且能夠滿足耐腐蝕性。
于是才是石英玻璃,于是才是1100°。
張惠國是完全復刻的第一代改良西門子法,期間有改動,但只是小改動,所以這個溫度是適合的。
這就是"其所以然"。
但是,科研永遠都在尋路。
有了一條路后,需不需要去找一條更快的路?
在現實生活中,大家都明白,要想抵達一個目的地,從來都不是只有一條路的。
且不說什么原路線的截彎取直情況了,陸路可以,水路行不行?
就算沒有水路,那么技術條件具備后,至少也應該有空中飛行方式。
解決還原爐材料的問題,也是如此。
老外當初造的時候,并沒有00i10moti馬氏體時效不銹鋼這種材料。
這一串看似亂碼數字字母的不銹鋼,具有良好的強韌性匹配和耐腐蝕性能,能應用在航空航天、海洋建設和壓力容器制造等領域。
同時,它擁有比普通低碳不銹鋼更耐高溫的特點。
這是改良西門子法下多晶硅還原爐后面幾個階段的版本答案。
顯然,這不是最后版本的答案,第三代第九版永祥法的答案是超低碳不銹鋼、合金、陶瓷混用。
但這是當前技術條件下,云帝所能想到的最優答案。
卿云咦了一聲,故作驚訝的說著,“我前幾天看重大項目推進進展報告的時候,太鋼那邊好像報告了一種特殊的超低碳不銹鋼。
它并不是奧氏體不銹鋼,而是馬氏體不銹鋼,名字挺怪的,所以我留意了一番。
這款不銹鋼安全耐高溫系數是1200度,而超低碳不銹鋼從根子上就不影響晶體成型。
至于耐腐蝕耐輻射性能……
張老,這種材料原本是準備用在航空器材上的。
當然,具體什么航空器材會用,我不能說,但,如果按照您現在告訴我的材料系數,他們是肯定滿足的。
你可以了解了解,看看有沒有可能替代,畢竟這種不銹鋼我們國內就有,我看這個還原爐工藝也不復雜。
我是想著,一旦可以用,那就極大的降低了我們的建造成本和生產成本。
當然,我只是個建議,決定權在您手上。”
張惠國聞言頓時瞪大了眼珠子,而后臉上露出了驚喜之色,“真的?那這……太省錢了!”
其實他心里有點不信。
但畢竟他是個經歷若干運動會的老運動員,能活到現在也是人精,知道這種場合該做什么表情說什么話。
老實說,這個少年他很喜歡,但這個少年做董事長,他是不太滿意的。
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