說到這里,他搖了搖頭,“但是,他的理論,并不被當前的市場所接受。去年提出的時候,沒有市場買單。
現在的路徑一共四大陣營,尼康占主導的157n激光、因特爾bd摩托騾拉聯合的135nuvett和ib聯合的1n接近式x光、朗訊貝爾實驗室高的0004n和000005ni。
后面兩個算是浪漫陣營,純理論研究,他們就沒想過產業化的事情。
而euv太超前,短期內根本無法實現。
我個人還是更看好尼康的干式157n技術路徑。”
卿云笑了,他懶得和程進扯什么科學英雄史觀的問題,更沒興趣和他聊技術路徑路徑,開口說道,
“荷蘭的as正在和林本堅一起共同攻堅浸入式光刻技術。”
程進聞言搖了搖頭,“沒用的,浸入式通過水滴折射確實可以跳過157n,直接做到134n波長,而后就會被65n的最高生產分辨率給卡住,到時候怎么辦
小卿,光刻是要遵循瑞利公式的,為光源波長、na為數值孔徑、k為光刻工藝系數,三者共同決定投影式光刻機分辨率cd。
光刻機的分辨率與光源波長成正比,想要制造出更小的尺寸,就需要縮短光源的波長,這也是光刻機世代演變的核心。
所以,你不管怎么折射,最終還是要通過光源的波長來解決問題。”
熟知后事的卿云很清楚,程進說的是對的。
浸入式、浸沒式、浸潤式,其光源都是193n激光器,隨后是根據瑞利公式的另一個參數孔徑,來實現精度的提高。
再之后,便是二次曝光技術,同樣是基于193n的光源。
而最終,在duv后,as還是走了波長135n的euv路徑。
但那是十來年后的事情了。
彼時的as已經一家獨大,它的領先優勢可以隨意切換賽道,但此時的光刻機市場卻并非如此。
此時還是群雄混戰時期,誰先突破,便是贏家通吃。
as與尼康佳能的光刻機之戰,其實是一個弱者在走投無路之下,抱著光腳的不怕穿鞋的的賭命心態進行絕地突圍的故事。
as能贏,并不在于林本堅的技術有多先進,而是在于林本堅給出了一個商業友好性極強的工藝方案。
在as推出浸入式193n產品的半年后,尼康也宣布自己的157n產品以及e產品樣機完成。
然而,林本堅的浸入式屬于小改進大效果,產品成熟度非常高,所以幾乎沒有人去訂尼康的新品。
而半導體產品就是這樣的特點,市場說了算。
贏得了市場,贏得了迭代的機會。
他想了想,還是耐心說道,“老師,您知道,我是一個商人。所以我習慣用商業的角度來看待問題。”
拿起礦泉水抿了一口,卿云繼續說著,“您說,從投入或者說對當前工藝的改進角度看,走157n還是走浸入式193n容易”
程進茫然的看著他,搖搖頭表示不知道,“但是技術路徑就在擺著啊,科研是要攻堅克難的。”
卿云見狀也只能無奈的聳了聳肩膀,“科研是科研的事,但作為一個企業家,我告訴你,我肯定選容易的。
有錢有市場我能繼續出錢讓科研研究下去,沒錢我啥事都做不了。”
程進聞言嘶了一聲,他好像明白了點。
卿云哂然一笑,“我們想要追趕別人,最好的法子是什么”
“彎道超車”
程進嗤笑了一聲,他表示,這個口號已經喊了20年了,至少在半導體產業來說,是越超越離世界頂尖水平越遠。
卿云翻了一個白眼,“是讓敵人陷入泥潭里。”
他雙手一攤,“193n光刻工藝,全世界已經卡了20多年了,我們才剛剛起步,去年華電科45所才開始進行研究。
也就是說,從代際差距來看,此時我們和國際沒太大區別,對吧”
程進覺得自己牙齒有點疼。
特么的,要從這個角度說,確實沒啥差距。
但特么的光刻機豈止是光源問題
卿云見狀笑了笑,“我知道差的還很遠,但我們現在看得見對吧但是如果他們走的慢一點,我們是不是差距就越小
作為商人來說,197n浸入式立刻可以實現65n的生產,將現在130n工藝直接提到半周期。
而走干式157n,他們還需要從現在的130n開始,連續走好幾代才能達到65n水平。
你說,作為商人,我怎么選”
說到這里他頓了頓,“尼康他們之所以堅持157n,是因為他們已經在這上面投入了太多,他們回不了頭。